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杂志简介

《办公自动化》(半月刊)创刊于1995年,是由中国科学技术协会主管的、中国仪器仪表学会主办的全国唯一本国家级办公自动化类科普半月月刊。致力宣传国家关于发展办公自动化事业的方针政策,交流、介绍国内外有关办公自动化技术的动态、信息,探讨和解答办公自动化工作过程中出现的问题,反映实际工作者的呼声和建议。为普及、推广办公自动化理论和实践的知识,介绍国内外高新产业技术信息化领域的计算机软硬件、网络、通讯及相关学科在办公自动化工作中的应用,并进行推广和交流;促进我国政府机关、企事业单位办公自动化的发展和应用,提高工作效率和办公自动化水平,推动我国信息化进程。国内统一刊号:CN11-3749/TP; 国际标准刊号:ISSN 1007-001x。国内外公开发行。邮发代号:82-382。欢迎订阅。

湿制程领导设备商Manz亚智科技推出Track Line解决方案

    2017425日,中国苏州——作为市场领先的湿制程领导设备商,Manz亚智科技凭借30多年的丰富经验及超过3,000台的设备销售实绩,为显示器及触控面板产业提供生产制程全方位解决方案。为突破目前国内显示器生产制程中的曝光机及Track Line等关键设备几乎被国外厂商所垄断的局面,Manz亚智科技宣布与上海微电子装备(集团)股份有限公司(以下简称上海微电子)签署战略合作协议。根据合作协议,未来上海微电子在国内提供黄光微影制程解决方案,将结合其曝光机与Manz Track Line解决方案,携手拓展国内显示器面板 Array 段的黄光微影制程生产设备市场。

      近年来,国内平板显示产业在国家政策的持续支持下,已实现了技术和产业规模的多种突破,快速掘起成为世界平板显示产业的重要一环。在TFT设备生产和研发方面,虽然国内投入巨资开工建设了多条高世代面板线,然而固定投资资金约60%左右都花在了设备购买上,而主要制程设备则从日韩等国家进口,国产设备研发之路依旧任重道远。

Manz亚智科技与国内著名的半导体设备制造公司-上海微电子签署战略合作协议,正是共同创新、实现技术突破并积极响应国家号召“以创新引领实体经济转型升级”的具体体现。双方将就显示器面板 Array 段的黄光微影制程生产设备结成长期战略合作关系,旨在打破国内市场上关键设备需依靠进口的局面。未来,上海微电子的曝光机将结合Manz Track Line解决方案,携手拓展国内显示器面板 Array 段的黄光微影制程生产设备市场份额。目前,Manz G4.5 Track Line 相关设备已装机于上海微电子研发厂内,包括清洗设备、涂布设备、显影设备及自动化软硬件设备,将提供客户做样品测试及验证。

上海微电子作为国内著名的半导体设备制造商,主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务,其设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMSLEDPower Devices等制造领域。其研发生产之曝光机为ARRAY段黄光微影制程的关键设备, 分辨率高达2um以下,并已通过客户的生产验证。该曝光机仍不断进行技术精进与研发,目前已达成1.5um分辨率技术研发。

       Manz Track Line 解决方案之关键设备精密涂布设备,拥有出色的膜厚均一性3%

光阻涂布在黄光微影制程中亦是影响 Array 段制程的关键之一,光阻涂布的均匀性及用量,都关系着面板良率及生产成本。Manz亚智科技自主研发的精密涂布设备采取了狭缝式涂布,能针对不同的流体进行涂刀内部流道分析及设计,并采用直接驱动的自有注射泵及供液系统,有效控制光阻的膜厚均匀度3%

  上海微电子将曝光机台、Track Line、长短寸及膜厚量测机台整合在一起,并进一步连接各设备之间的软硬件,优化各机台的运行参数,结合定制化光阻,为客户提供完整的、高分辨率、高效率黄光微影制程解决方案。

通过此次Manz亚智科技与上海微电子的战略合作,不仅能够实现设备生产的国产化,从研发、材料、生产到服务全部本地化,更将打破目前国内关键设备生产被外商所垄断的局面。此举将能快速响应面板制造商日新月异的需求,提供定制化的服务,还可以有效地降低设备购置成本及运送成本,未来更好的进一步服务本地客户。此次合作,也意味着Manz亚智科技未来将把技术研发的触角伸进半导体领域。

Manz亚智科技暨显示器事业部总经理林峻生表示:“身为湿制程领导设备商,Manz 亚智科技30多年来不断致力于技术突破和创新。由湿制程技术跨足到以精密涂布为关键的Track Line解决方案,核心技术的整合与扩充应用是我们主要的发展方向。通过与上海微电子的战略合作对我们而言无疑是一大助力,将结合双方资源,掌握显示器面板黄光微影生产制程的关键技术与设备,共同打破关键制程设备需仰赖进口的瓶颈,使设备国产化、更贴近市场,从而以本地化的服务及生产成本,更好地服务本地客户。这项战略合作是一个良好的开端,未来在半导体产业也将会有更进一步的合作。”想了解更多关于Manz为显示器关键制程所提出的Track Line解决方案,请造访Manz 亚智科技位于2017上海国际全触与显示展(C-Touch Shanghai 2017)的展位。

       

Manz 集团——激情成就高效能(Passion for efficiency

Manz 集团总公司位于德国罗伊特林根城是一家全球领先的高科技设备制造商。1987 年成立的Manz 公司现已从自动化专家成功发展成为生产设备解决方案的供货商。Manz 专精于六项科技领域,包含自动化、量测与检测、激光工艺、化学湿制程、印刷与涂布,及卷对卷技术,这些核心技术应用于Manz 在“电子装置及元器件”、“太阳能”及“储能”三大策略领域的技术扩展,并将在未来持续向前发展。Manz 集团于2006 年在德国公开上市,由创立者Dieter Manz 先生担任首席执行长,Manz 集团在德国、斯洛伐克、匈牙利、意大利、中国大陆及台湾皆设有自己的生产据点;而Manz 集团的业务销售及服务网络遍布全球,包括美国、南韩和印度。在公司宣言“激情成就高效能”的推动下,Manz 承诺未来会为各种重点产业的客户,提供更高效能的生产系统解决方案。作为世界领先的设备制造商,Manz 为其全球众多客户降低终端产品的生产成本作出了巨大贡献。